真空泵的技术术语和用途

一、真空泵的技术术语，真空泵除主要特性，极限压力，流量和抽气速率之外，尚有一些名词术语表达泵的有关性能和参数：

(1)气动压力。泵无损害启动并有抽气作用时的压力。

（2）前级压力。排气压力低于101325pa的真空泵的出口压力。

（3）最大前级压力。超过它能是泵损坏的前级压力。

（4）最大工作压力。对应最大流量的入口压力。在此压力下，泵能连续工作而不恶化或损害。

（5）压缩比。泵对给定气体的出口压力与入口压力之比。

（6）合适系数。泵抽气通道面积上的实际抽气速率与该处按分子泄流计算的理论抽气速率之比。

（7）抽气系数。泵的实际抽气速率与泵入口面积按分子泄流计算的理论抽气速率之比。

（8）反流率（单位：g.cm-2.s-1)。泵在规定条件下工作时，与抽气方向相反而通过泵入口的单位面积、单位时间的泵液的质量流率。

（9）水蒸气允许量（单位：kg/h）。在正常环境条件下，气镇泵在连续工作时能抽除的水蒸气的质量流率。

（10）最大允许水蒸气入口压力。在正常环境条件下，气镇泵在连续工作时能抽除的水蒸气的最高入口压力。

二、真空泵用途

根据真空泵性能，在各种应用的真空系统中它可承担如下一些工作。

（1）主泵。在真空系统中，用在获得所要求的真空度的真空泵。

（2）粗抽泵。从大气压开始，降低系统的压力达到另一抽气系统开始工作的真空泵。

（3）前级泵。用以使另一个泵的前级压力维持在其最高许可的前级压力以下的真空泵。前级泵也可以做粗抽泵使用。

（4）维持泵。在真空系统中，当抽气量很小时，不能有效地利用主要前级泵，为此，在真空系统中配置一种容量较小的辅助前级泵，维持主泵正常工作或维持已抽空的容器所需之低压的真空泵。

（5）粗（低）真空泵。从大气压开始，降低容器压力且工作在低真空范围的真空泵。

（6）高真空泵。在高真空范围内工作的真空泵。

（7）超高真空泵。在超高真空范围内工作的真空泵。

（8）增压泵。装于高真空泵和低真空泵之间，用来提高抽气系统，在中间压力范围内的抽气量或降低前级泵容量要求的真空泵（如机械增压泵和油增压泵等）。